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1、本设计为上海集成电路二期项目配套自控系统设计。
项目采用FMCS系统对全厂新风机组、空调机组、废气处理、冷热水系统、空压系统、工艺水系统等进行集中监控。
上海万级半导体洁净室装修施工图片2、FMCS控制水平及控制方案概述:
本项目厂务监控系统采用工业集散型控制系统，为了使FMCS系统在规划上或将来的扩充上得到最佳的效果，并考虑在设计上必须的可靠性、稳定性、可扩充性，因此PLC主站选择了故障安全型控制器，双机热备硬件冗余，并通过PROFINET工业以太网线路对分布式IO模组进行控制，系统架构如下：
为适应洁净室对生产环境的要求和方便操作人员，实现对车间生产环境的远程监控，在计算机系统中设置不同的操作权限，使有权限的操作人员可以在控制室灵活地对车间环境工艺参数进行设置、修改。在控制室调用不同的显示画面即可监视各子系统的概貌以及相关的历史数据。
万级半导体洁净室装修工程施工图片3.FMCS控制内容:
3.1.主要控制设备：
PLC:采用双机热备的硬件冗余机制，避免生产的停机危险，为尽量减少PLC的数量，降低投资成，本系统采用冗余处理器加远程输入/输出模块.可编程序.有拓展性.有自诊断功能，当元件故障时可以快速在线更换.提供一个冗余的分布式网络.通讯网络:冗余的PROFINET工业以太网。
万级半导体洁净室现场实拍照片3.2.主要监视管理设备：
监控站、交换机、电源、打印机等。(监视管理设备位于控制室)
3.3.其他材料及设备：
控制信号传输用多芯铜缆、屏蔽双绞线、通讯线缆、桥架、镀锌钢管、支架等。
4.动力设施一般操作变量:
4.1.所有风机(除非特别规定)，将提供下列信号给PLC监控。
DIx3:运转状态反馈/故障状态反馈/手自动开关之位置反馈(无源常开触点)。
DOx1:启动/停止(有源常开触点)。
4.2.所有变频器(除非特别规定)，将下列信号通过硬线与PLC连接。
AIx1:转速反馈。
AOx1:频率控制。
DIx3:运转状态反馈/故障状态反馈/手自动开关之位置反馈(无源常开触点)。
DOx1:启动/停止(有源常开触点)。
5.现场电动设备、仪表及执行机构配线参考:
5.1.温湿度变送器选用ZR-RVVP-4x1.5铜芯电缆。
5.2.温度、压力、液位等模拟量传感变送器选用ZR-RVVP-2x1.5铜芯电缆。
5.3.模拟量电动执行机构选用ZR-RVVP-4x1.5铜芯电缆。
5.4.仪表电源选用YJV-2x1.5电力电缆。
5.5.风机等电动设备开关量信号选用ZR-RVV-8x1.5铜芯电缆。
5.6.变频器模拟量信号选用ZR-RVVP-4x1.5铜芯电缆。
5.7.成套设备至控制器的通讯软线根据具体通讯协议采购相应电缆，常规通讯线缆选用ZR-RVVSP-2x1.5铜芯双搅电缆。
6.供电：
单相三线，VAC50Hz，电源由UPS供电，当发生断电故障时，UPS维持供电30分钟。
7.接地：
现场仪表敷设至现场控制柜的电缆，其屏蔽层全部接至控制柜内的相应接地铜板上。控制柜的总屏蔽接地电缆及保护接地电缆再统一接至等电位板上。
电缆桥架、电缆保护管等应作保护接地，可直接焊接或用接地线连接在附近已接地的金属构件或金属管道上，并应保证接地的连续和可靠，但不得接至输送可燃物质的金属管道。电缆桥架、电缆保护管的连接处，应进行可靠的导电连接。
8.其他说明:
8.1.从测量点至桥架的单根电缆穿管敷设，具体走向由安装公司视现场实际情况、本着避开高温、强磁场、机械碰撞、不影响交通、并做到整齐美观合理为原则进行施工。仪表管线或桥架支架不允许焊接在工艺管道或设备上。电缆进出仪表时，必须有一个下垂的袋形弯，以免液态水沿电缆进入仪表。
8.2.本质安全电缆和非本质安全电缆需分开敷设，在汇线槽中需采用隔板与普通电缆隔开或在独立的汇线槽中敷设。
8.3.洁净区各测量点沿墙穿管暗敷至吊顶后引入仪表桥架。桥架进出室内外、控制室以及不同区域，在电缆敷设经过测试完毕后，桥架外面要用水泥封堵孔洞，桥架内要用阻燃泡塑料封堵桥架内孔洞。桥架屋面暴露部分须做防晒防水盖板，其穿屋面楼板处应做防漏水处理，桥架内部应做防水封堵。桥架穿过防火分区时须做防火封堵;穿酸、腐性气体区域时，应做相应防化处理。
8.4.火灾、爆炸等危险环境使用的现场仪表、执行机构及线缆等必须根据具体使用环境和要求，按照国家相关规范选择，并采取相应防火、防隔爆等措施。
8.5.FMCS系统配置图仅供参考，其他如柜内端子接线图、系统接地图、内部硬件、软件等设计统一由供货商完成。
8.6.设计所选仪表在订货前须对工艺数据进一步核实，经业主确认。
8.7.设计和说明未详尽之处，遵照国家相关规范和业主要求执行。
