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中华人民共和国住房和城乡建设部

为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。

特种气体系统工程施工要求

为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。

10.1一般规定

10.1.1特种气体系统工程施工应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB、《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB、《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》GB和《现场设备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB的有关规定。

10.1.2特种气体系统使用的不锈钢管道应采用自动轨道氩弧焊机焊接，高纯氩气保护。10.1.3安装和试验检测用计量器具应经检验合格并在有效期内使用。10.1.4特种气体系统工程施工前应编制专项施工方案，并应经业主审批后实施。10.1.5主要设备材料进场应提供下列文件：1产品合格证、质量保证书、性能测试报告；2产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；3产品规格、型号、数量、设备附件及专用工具。

10.1.6设备材料进场验收、焊接样品鉴定时，建设单位技术人员应在场检验确认。

10.2主要设备、材料进场验收

10.2.1气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定：

1外包装上应具有防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标识，并应完整无损；

2表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓；柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调节空气过滤网进风口；

3面板上应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识，并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图；同时，应配有与其对应的操作手册；

4内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵；

5在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa(表压)压力的氮气；

6阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支撑件，支撑件材质应采用不锈钢；不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上。

10.2.2尾气处理装置进场验收应符合下列规定：

1尾气处理装置进场应对外观、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对；

2尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专用工具应齐全；

3酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全；

4尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告，铭牌、标识应齐全；

5系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。

10.2.3管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定：

1在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；

2检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0.5μm)；

3进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告。

10.2.4管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：

1管道、管件、阀门应有独立的内包装，端口均应装有防尘帽；

2管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；

3管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；

4材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；

5管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；

6管道内壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。

10.3气瓶柜与气瓶架的安装

10.3.1气瓶柜和气瓶架应按设计要求定位。

10.3.2气瓶柜气瓶架就位找平、找正后，应固定牢固。

10.3.3气瓶柜和气瓶架的垂直度偏差不应大于1.5%成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。

10.3.4气瓶柜的安装应确保柜门开关自如，不得扭曲变形、关闭不严。

10.4阀门箱与阀门盘的安装

10.4.1阀门箱和阀门盘应固定在专用支座上或固定支架固定在梁、柱与墙上，不得将阀门箱直接固定在地面上。10.4.2阀门箱和阀门盘的支座宜采用专用镀锌型钢、专用喷塑型钢或专用不锈钢型钢装配式连接，不宜采用焊接。10.4.3阀门箱和阀门盘的垂直度偏差不应大于1.5‰，成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。

10.4.4阀门箱与阀门盘就位找平后，应固定牢固。

10.4.5连接阀门与阀门盘、阀门箱的螺栓应为不锈钢螺栓，不得将阀门和管道系统与任何未经处理的碳钢件直接接触。

10.5尾气处理装置及纯化器的安装10.5.1尾气处理装置安装应符合现行国家标准《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB的有关规定。10.5.2尾气处理装置的基础应坚固平整，水平度不得大于3‰。10.5.3每个系统的管线及阀门都应贴上显著的正确标识，阀门应开关灵活，锁定装置应可靠。

10.5.4干式尾气处理装置及纯化器安装时，应防止吸附剂长期接触空气。

10.6特种气体管道安装

10.6.1特种气体管道下料、预制应符合下列规定：

1工作人员应穿戴洁净服、洁净口罩、洁净无尘手套在洁净室内进行下料、预制等各项操作，不得用裸手接触管口及管道内壁；

2管外径小于或等于1/2”的管道切割应使用不锈钢管切管器，切割后应以平口机处理管口，并应用专用倒角器去除管口内外毛刺，管口端面应垂直、不变形，满足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用塑料管割刀替代；

3平口机处理管口时应将管口向下，并应在另一端管口用高纯氮气快速吹扫，不得将刚平口处理的管口向上；

4管外径大于1/2"的管道切割应采用不锈钢管洁净专用切割机，切割时不得使用润滑油：切口端面应垂直、无毛刺、不变形；满足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用手工锯、砂轮切割机切割；

5管道切管作业时，应分别从两端管口将高纯氮气或氩气通入管内，并不得损伤管道外壁；

6管口倒角作业时，不得损伤管道内壁，并不得采用什锦锉对管口进行倒角；

7管道吹扫完毕，应使用不产尘的洁净布沾上异丙醇或无水乙醇将切割管口清洗干净，应迅速用洁净防尘帽或洁净胶带将管口封堵；

8切割结束后，剩余管材应以洁净防尘帽封或洁净胶带堵后装入包装袋中；

9管道预制焊接总长度不应超过12m，预制时应放置在专用支座上，支点数量不得少于4个；管道运输时每3m长度应设一个支点。

10.6.2特种气体管道配管应符合下列规定：

1按照管道系统单线图，应将规定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专用夹具定位后进行预连接，并应通入适量的高纯氩气进行保护；

2支架宜采用碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；

3支架应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；

4当采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应采用树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；

5管外径小于或等于1/2“管道宜采用a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不锈钢管卡或带塑料管束的镀锌P型卡；

6管外径大于1/2”的管道弯头应采用成品弯头；管外径小于或等于1/2”的弯头可在现场使用专用弯管器揻制，BA级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的3倍，EP级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的5倍，公、英制弯管器不应混用；

7不锈钢管道密封接头的密封垫片应根据气体的性质采用不锈钢垫片或镍垫片，严禁采用非金属垫片、有划伤的垫片以及将使用过的垫片，在同一密封面应采用一个垫片；

8特种气体管道与用气生产工艺设备之间的连接应采用不锈钢管道面密封接头或自动轨道氩弧焊机焊接，不得采用非金属软管；管道穿墙部位应设套管，并应以难燃材料填充套管与管道之间的间隙：同时应对穿墙部位加以密封。

10.6.3特种气体管道焊接应符合下列规定：

1施工单位在工程开工前应对参加该工程的焊工进行认证，并应向建设单位提交管道焊接样品、焊接合格确认单，经建设单位项目技术负责人签字确认后方能进行焊接施工，施工单位应保留合格的焊接样品和记录；

2应使用自动轨道氩弧焊机焊接，所用氩气纯度不得小于99.%,焊接用气体应加装可调节流量计显示气体流量，内保护气应装压力计监测管内压力；

3在正式焊接前、更换焊头后、更换钨棒后、改变焊接管径、焊机电源关闭重新启动后都应进行焊接测试，焊接测试样品经质量检验员检查合格并填写焊接合格确认单后方可正式施焊；在结束焊接前也应进行焊接测试，并应检查正式施焊后所焊焊接接头是否合格；

4焊接前应编制焊接工艺规程和绘制系统的单线图，单线图上应对焊接接头进行编号，编号应与焊接记录的焊接接头编号一致；

5应严格按照焊接工艺规程要求进行焊接，焊接过程中应做好焊接记录，焊接接头处应标明焊接时间、焊工姓名或焊工钢印号、焊接接头编号、介质名称；

6对接接头组对时应对称均匀，接头错边量不应大于管壁厚度的10%，且管道不得在焊接接头的位置弯曲；

7管外径大于或等于1"时，焊接前应先采用手工氩弧焊机进行不加丝对称点焊预连接，点焊时管内应通入高纯氩气进行保护，点焊后应对焊点进行洁净处理，并应用洁净胶带密封焊接接头；

8焊机应采用专用配电箱，当电源电压不稳定时应采用自动稳压装置供电。焊机本体应可靠接地；

9焊接时的保护气体流量应以做焊接样品的保护气体流量为基准；施工过程中应连续充气保护。施工中断时可降低充气流量，但应确保管内呈正压；

10每一个系统焊接完成后，均应充高纯气或氮气正压保护；

11外焊缝宽度应为管壁厚度的2.5倍~4.0倍，内焊缝宽度不应小于外焊缝宽度的2/3倍，焊缝不应有裂纹、未焊透、未熔合焊接缺陷，不得有气孔、夹渣、咬边等缺陷。焊缝错边量不应大于管壁厚度的10%，管内、外焊缝凹、凸起高度不应大于管道壁厚的10%。

10.6.4低蒸汽压特种气体管道施工除应符合本标准第10.6.1条～第10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：

1管路应安装伴热带并用保温棉包覆管路；

2当管道穿越温差较大区域时应分段加热。

10.6.5双层管特种气体管道施工除应符合本标准第10.6.1条~第10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：

1当双层管焊接施工时，应先实施内管的焊接，并在焊接接头处应安装滑套；

2当双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充高纯氩气保护，宜采用自动轨道氩弧焊机焊接；

3内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏，确认内管无泄漏后，方可焊接外管上的滑套；

4双层管的内管和外管之间应安装弹簧进行隔离，内管和外管不得直接接触；5双套管施工宜采用分段隔绝的方式施工，从气瓶柜到阀门箱的外层套管不得全部相通。

10.7特种气体管道改扩建工程施工

10.7.1改建、扩建、拆除特种气体管道工程的施工应符合下列规定：

1施工单位在开工前应编制施工方案;内容应包含重点部位、作业过程注意事项，危险作业过程的监控，应急预案，紧急联系电话和专门负责人，对潜在的危险应向施工人员进行详尽的技术交底；

2生产区与施工区之间应采取临时隔离措施及设置危险警示标志，施工人员不得进入与施工无关的区域；

3施工现场应有业主和施工方的技术人员在场，阀门的开关动作、电气开关动作、气体置换操作等都应由专人在业主技术人员的指导下完成，未经许可，不得操作；切割改造工作时应提前在被切割管道全线和切割处明显标识，标识管道现场需得到业主和施工方的技术人员确认。

10.7.2施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。

10.7.3施工完毕、测试合格后，应将管道系统内充入0.1MPa(表压)的高纯氮气。

说明：本标准用词说明

1为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：

1)表示很严格，非这样做不可的：

正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”；

2)表示严格，在正常情况下均应这样做的：

正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”；

3)表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的：

正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”；

4)表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。

2条文中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合….的规定”或“应按……执行”。

GP特种气体管道的“施工”

特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。

最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。

盖斯帕克现场基本的施工程序为：

01施工图纸会审02施工组织编写03预制间的搭设04施工机具的准备05施工人员的培训06预制图纸的编写07管道的预制08管道的现场安装09系统检测10系统验收

盖斯帕克特气系统检测

a设备安装完成后，按照系统要求的基本功能逐一测试。

b系统运行正常，联机测试通过。

b系统运行正常，联机测试通过。

d盖斯帕克负责在项目验收时将系统的全部有关产品说明书、原厂家安装手册、技术文件、资料、及安装、验收报告等文档交付设备使用单位。

e针对以上情况及实际工作压力，参考《国家工业管道安装及验收规范》(GB-)、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》(GB-)等部分有关规定，对本项目气体管道压力试验及净化制定具体方案。

I版权声明

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